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压力传感器新型优点技术和温差特性
日期:2013年05月16日  文章点击数:

新型压力传感器的优点是:
 ① 频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量;
 ② 体积小(例如有的产品外径可达0.25毫米),适于微型化;
 ③ 精度高,可达0.1~0.01%; 
 ④ 灵敏高,比金属应变计高出很多倍,有些应用场合可不加放大器;
 ⑤ 无活动部件,可靠性高,能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环 ?#22330;?#20854;缺点是温度影响较大(有时需进行温度补偿)、工艺较复杂和造价高等。  
缺点是: 
① 温度特性差,由于压阻式压力传感器是用半导体材料制作的,受温度影 响较大,因此,在温度变化大的环境中使用时,必须进行温度补偿。 
② 工艺复杂,对研制条件要求高而严格,尤其是扩散杂?#30465;?#28903;结、封装工 艺等比其他传感器要复杂的多,因而成本也相对要高。 应用  压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地?#30465;?#22320;震测量等各个领域。在航天和航?#23637;?#19994;中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机?#34892;?#21387;力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型?#23567;?#21333;个传感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。?#36865;猓?#22312;油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用还将迅速发展。 
 压阻式压力传感器优点:
1. 频率响应高,f0可达1.5M;
2. 体积小、耗电少; 
3. 灵敏度高、精度好,可测量到0.1%的精确度;
4. 无运动部件(敏感元件与转换元件一体)。
压阻式压力传感器缺点:
1. 温度特性差;
2. 工艺复杂。 

    沈阳海泰仪表工业有限公司是专业从事各种压力传感器压力变送器、数字压力表、汽车油耗监控的设计、开发、生产和销售的高新技术企业。是通过辽宁省软件生产企业、软件产品认证的“双认证”企业、是沈阳市高新技术企业。网址:www.ydljt.tw

 

 

 
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